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近期,发现有个别不法商家蓄意借用“启天”名义开展业务,给客户造成恶劣影响,因?#23435;?#21496;提醒广大客户保持警惕,以免造成损失。对个别不法商家侵害我司名誉和利益的?#24418;?#25105;司将保留法律追究权。特此声明!

产品分类

工厂地址:
广东省东莞市樟木头镇樟洋社区富竹二街8号

办公?#19994;?#22336;:

广东省东莞市樟木头镇柏地东城路2号汇达孵化园3楼

销售直线:
0769-86059333(东莞)
0510-85223986(无锡)

 

 销售一部:

售前售后咨询:罗先生

手机:13929208059  

座机:0769-87195860

[email protected]

售前售后咨询:郭先生

手机:13380187910 

座机:0769-87195860

邮箱:[email protected]

售后服务:黄女士 
手机:13414420302

座机:0769-86059333-8011

邮箱:[email protected]

 

销售二部:

售前售后咨询:晁先生

手机:13790668580

座机:0769-86059333-8017

邮箱:[email protected]

售后服务:吴女士

手机:13925879721

座机:0769-86059333-8042

邮箱:[email protected]

 

销售三部:

售前售后咨询:徐先生

手机:18151716119

座机:0510-85223986

售后服务:钟女士

手机:13929207880 

座机:0769-86059333-8023

邮箱:[email protected]

 

售前售后投诉电话:梁先生

手机:18902617698 

座机:0769-86059333-8045

邮箱:[email protected]

  • 产品名称: 等离子-60(2)(6万)(价格面议)
  • 产品编号: 等离子-60(2)
  • 上架时间: 2017-01-19

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等离子清洗工艺流程图


产品技术规格介绍

QT-60-PSP中型等离子清洗机规格


主要技术参数:
1) 整机外形尺寸(约): 900W×1700H×1000D(mm) 外观喷塑处理;
2) 反应仓尺寸: W450mm×H300mm×D450mm;
3) 电源:主系统电源: 380×(1±10%)V(AC)  50Hz~60Hz  三相五线
4) 等离子体频率:13.56MHz;
5) 射频电源功率:(0~600)W连续可调;
6) 设备功率:≤3kW
7) 控?#21697;?#24335;:采用包括触摸屏人机界面的PLC控制,操作方式包括自动模式和手动模式。在自动模式下将不同工艺参数按照配方方式管理,可同时存储100组不同的配方。使用时只需要将相应配方号调出即可。设备参数分级管理,设备操作员、工艺人员、维护人员使用不同口令管理不同参数,提高设备安全性。手动模式用于实验工艺?#32422;?#35774;备维护维修。
8) MFC质量流量计控制(标准配置2路)
9) 气体流量:(0~200)ml/min (标准气压,0℃)
10) 工作气体(氧、氩等)接口压力:≤0.45MPa
11) 压缩空气(启动气动角阀)接口压力:0.45Mpa
12) 净化冷却气体(氮气)接口压力:0.45MPa
13) 设备工作节?#27169;?#21333;次清洗时间≤6min(反应时间180S左右)
14) 工作真空度:10~150Pa


反应仓:
1) 反应仓材质:采用高纯度304不锈钢定制,?#33322;?#27687;化生锈现象;
2) 电极板(?#20449;蹋?#26448;质:采用?#26753;?#37329;或高纯度304不锈钢定制,?#33322;?#27687;化生锈现象;
3) 反应仓后部安装?#22411;?#30005;极座,电极座分?#32423;?#20010;螺钉锁定接口,水平电极板通过该接口锁定,牢固可靠,更有助于射频源的稳定输出。
4) 仓体左右两侧安装有侧托,用于支撑电极板。
5) 清洗对象的篮具置于电极板上,电极板通过插头与铜电极座相连,插入的电极板方向决定了该电极板为阳或为阴。
6) 本设备提供的清洗模式为直接等离子体模式。直接等离子体模式为阳、阴电极相间放置。
7) 电极可以同时安放2组~4组任意组合。电极有效面积为380×310 (mm),电极间距为2.5(cm)可调。
8) 反应仓真空平衡方面做了改进,平衡阀能够快速解压(5~10秒内),避免了长时间等待平衡时间,提高了生产效?#30465;?/p>

真空泵: 
1) 我们推荐使用PUDEE油泵PDV30此泵优点:风冷,抽速快,抗氧化,耐腐蚀,维护成本低,可自行?#33322;?#28201;度过高的散热体系,无需水冷。完全解决了油泵易氧化的问题。
2) 耗电低,噪音小,使用寿命长。
3) 泵体内置于机柜内部,使机器紧凑,占地面积小
自动控制系统:
采用PLC进行全程控制,性能稳定,功能全面,人机界面友好,所有工艺参数,工艺过程实时监控,并显示运行状态、报警记录、工艺曲线记录和工作时间记录,权限等级,密码管理等,方便维护保养。


射频电源:
1) 射频电源为专业满足在半导体工艺的高?#30331;?#21160;等离子系统的性能要求而采用的进口固态半导体芯片的射频电源。电源功率充足500w应用领域包括:刻蚀、RIE、平行板、ICP、射频溅射、CVD和PVD等工业领域。其技术确保了超稳定的输出,?#23435;?#23450;技术使功率放大性能得以优化并降低由等离子阻抗波动造成的功?#35797;?#30410;变化。
2) 通过编码器和软键输入实现Local控制
3) 标准R232接口和A/D控制
4) 在全控制和可编程微处理器作用下,可激活前面?#30446;?#21046;面板
5) 控制电路确保了在高VSWR条件下的连贯性
相比业界同类产品,我公司产品除以?#29616;?#35201;组件具备绝对优势以外,无论从其外观设?#39057;?#25805;作程序设计,均贯穿了先进、卓越和人性化的理念。设备的清洗时间、洁净压力、射频功?#30465;?#24037;艺气体流量设定可调,一键完成全自动工艺,实时故障报警、非法操作提示、清洗结束提示等。自动提醒系统维护、更换真空泵油等,避免机器过载、过老化情形下工作,延长使用寿命。


场地要求:
电   源:三相五线   独立接地,接地电阻≤2Ω。应使用截面积4mm2以?#31995;?#25509;地铜线(建议使用独立接地体,接地电阻必须≤2Ω。)将设备接至PE。
气    源:氮气 0.45MPa 其它工作气体(氧、氩、氢、氦等):≤ 0.45MPa
压缩空气:0.5Mpa
真空泵排放气管:软管,管径(内径)φ25mm。建议将排气管接至室外,并且在排气管路上设置防止水、油流回的装置。
场地温度:≤40℃
相对湿度:RH(35-65)%


产品验收标准
产品验收以技术方案中的主要技术参数中的14项作为验收标准,验收报告?#28304;?#20316;为基准出具验收表格,方案中的其他各项均应符合?#23548;?#30340;机器配给情况。

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